一種轉塔式固晶機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921031163.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210349783U 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN210349783U 申請公布日 2020-04-17
分類號 H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L33/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李輝;王體;李俊強 申請（專利權）人 深圳市諾泰自動化設備有限公司
代理機構 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種轉塔式固晶機，涉及芯片制造領域，包括校正補償系統(tǒng)、取晶系統(tǒng)、點膠系統(tǒng)、固晶系統(tǒng)、轉塔系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)；其中，校正補償系統(tǒng)，用于微調芯片在裝載芯片的晶圓盤上的位置；取晶系統(tǒng)，用于拾取晶圓盤上的芯片；點膠系統(tǒng)，用于對引線框架進行點膠操作；固晶系統(tǒng)，用于對芯片和引線框架進行固晶操作；轉塔系統(tǒng)，進行芯片位置的轉移，依次經過取晶系統(tǒng)、點膠系統(tǒng)和固晶系統(tǒng)；檢測系統(tǒng)，進行芯片取晶前和固晶前位置參數補償校正，本實用新型采用一套轉塔式多擺臂吸嘴系統(tǒng)，與三套音圈電機下壓機構的組合，以及配合高速的計算機運算控制與高速的工業(yè)相機視像處理系統(tǒng)，實現(xiàn)從晶圓盤中連續(xù)取晶、點膠、固晶等工藝要求。