一種薄膜方塊電阻的測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120147268.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215066955U 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN215066955U 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) G01R27/14（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 來華杭;郭峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江上方電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州合信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈自軍
地址 312366浙江省紹興市濱海新城暢和路7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種薄膜方塊電阻的測(cè)量裝置，包括：支架；安裝在所述支架上，且轉(zhuǎn)動(dòng)速度與待測(cè)薄膜行進(jìn)速度相匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)輥；用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥上的至少一組測(cè)量探頭，同屬一組的測(cè)量探頭沿平行于轉(zhuǎn)動(dòng)輥軸線方向布置于轉(zhuǎn)動(dòng)輥的外周面，各測(cè)量探頭具有接觸待測(cè)薄膜的測(cè)量狀態(tài)；作用在所述測(cè)量探頭與轉(zhuǎn)動(dòng)輥之間，使測(cè)量探頭在測(cè)量狀態(tài)下抵壓待測(cè)薄膜的彈性件。本申請(qǐng)?zhí)峁┑谋∧し綁K電阻測(cè)量裝置，適用于在線檢測(cè)流水線上的薄膜產(chǎn)品的方塊電阻。