一種大沉積區(qū)域金剛石薄膜制備用熱絲架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110070121.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112899642A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112899642A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C23C16/27 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙小玻;訾蓬;徐金昌;李小安;王傳奇;曹延新;玄真武;田龍;陳相棟 申請（專利權(quán)）人 中材人工晶體研究院（山東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙奕
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘市雙山街道經(jīng)十東路7888號雙創(chuàng)基地A15晶體樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大沉積區(qū)域金剛石薄膜制備用熱絲架，所述熱絲架的結(jié)構(gòu)包括：3根以上條形電極，包括正電極和負(fù)電極；若干熱絲；所述條形電極彼此平行，沿與條形方向垂直的橫向排成一行；所述正電極和負(fù)電極間隔排列；所述熱絲一端固定于最左端的條形電極，熱絲中間部分搭接于中間位置的條形電極上，另一端固定于最右端的條形電極。本發(fā)明熱絲架通過設(shè)置多根條形電極，針對熱絲加熱時延伸造成下沉，影響碳化效果的問題，通過設(shè)置多跟條形電極，使中間位置的條形電極在提供電源的同時，對熱絲提供一個承托的作用，減輕了下沉的情況，且通過設(shè)置壓縮彈簧結(jié)構(gòu)，或重力結(jié)構(gòu)，能夠?qū)峤z提供一個拉力，克服下沉的趨勢。