一種金剛石膜氧化硼摻雜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110079663.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112899644A 公開（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112899644A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) C23C16/27;C23C16/448 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 訾蓬;趙小玻;徐金昌;李小安;王傳奇;曹延新;玄真武;楊子萱;王艷蔚 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中材人工晶體研究院（山東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙奕
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘市雙山街道經(jīng)十東路7888號(hào)雙創(chuàng)基地A15晶體樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，所述方法采用熱絲氣相沉積法制備摻硼金剛石薄膜時(shí)，通過在基片平臺(tái)的周邊均勻設(shè)置若干開口面積相等的容器，將氧化硼粉放置于容器中，在熱絲加熱時(shí)同時(shí)加熱容器中的氧化硼粉形成高溫氣化，實(shí)現(xiàn)摻硼金剛石薄膜的制備。本發(fā)明通過在基片平臺(tái)周邊設(shè)置若干開口面積相等的容器，并在容器中盛放氧化硼粉，通過控制盛放粉體的數(shù)量，就可以控制參加氣化的氧化硼數(shù)量，并通過采用不同高度的空心立管作為容器，可以控制氧化硼與熱絲的距離，從而控制氧化硼的接觸溫度，從而間接調(diào)整氧化硼的氣化速度，選擇一個(gè)合適的高度和數(shù)量，從而在其他條件一定的情況下，控制硼摻雜的濃度，使硼在沉積過程中的均勻高效摻雜。