一種金剛石膜氧化硼摻雜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110079663.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112899644A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112899644A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C23C16/27;C23C16/448 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 訾蓬;趙小玻;徐金昌;李小安;王傳奇;曹延新;玄真武;楊子萱;王艷蔚 申請（專利權）人 中材人工晶體研究院（山東）有限公司
代理機構 北京志霖恒遠知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 趙奕
地址 250200 山東省濟南市章丘市雙山街道經十東路7888號雙創(chuàng)基地A15晶體樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，所述方法采用熱絲氣相沉積法制備摻硼金剛石薄膜時，通過在基片平臺的周邊均勻設置若干開口面積相等的容器，將氧化硼粉放置于容器中，在熱絲加熱時同時加熱容器中的氧化硼粉形成高溫氣化，實現摻硼金剛石薄膜的制備。本發(fā)明通過在基片平臺周邊設置若干開口面積相等的容器，并在容器中盛放氧化硼粉，通過控制盛放粉體的數量，就可以控制參加氣化的氧化硼數量，并通過采用不同高度的空心立管作為容器，可以控制氧化硼與熱絲的距離，從而控制氧化硼的接觸溫度，從而間接調整氧化硼的氣化速度，選擇一個合適的高度和數量，從而在其他條件一定的情況下，控制硼摻雜的濃度，使硼在沉積過程中的均勻高效摻雜。