一種單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410692587.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105698845B 公開（公告）日 2018-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN105698845B 申請(qǐng)公布日 2018-06-29
分類號(hào) G01D21/02 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉健鵬;馬鐵中;焦宏達(dá) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置，屬于半導(dǎo)體材料無損檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置在光束入射至晶片基底之前，將透鏡設(shè)置于分光平片之后，而在形成第二種反射光束之后，將透鏡設(shè)置于分光平片之前，這樣，只需要應(yīng)用一個(gè)透鏡即可，無需選用兩個(gè)透鏡，或者，在選用激光器和探測(cè)器時(shí)，無需它們自身集成有透鏡，使得檢測(cè)晶片基底二維形貌的裝置的成本降低。