曲率測量方法、系統(tǒng)、可讀存儲(chǔ)介質(zhì)及計(jì)算機(jī)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210506837.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114608482A 公開（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114608482A 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類號(hào) G01B11/255（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 倪旭東;黃文勇;馬鐵中 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 330096江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)艾溪湖北路688號(hào)中興科技園8號(hào)廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種曲率測量方法、系統(tǒng)、可讀存儲(chǔ)介質(zhì)及計(jì)算機(jī)設(shè)備，方法包括：通過激光發(fā)射器沿預(yù)定方向照射于待測晶圓的預(yù)設(shè)照射位置，并控制待測晶圓進(jìn)行自轉(zhuǎn)，并獲取到待測晶圓整圈的偏移量數(shù)據(jù)，根據(jù)偏移量數(shù)據(jù)計(jì)算出表面傾斜量；對(duì)兩標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片分別按照上述步驟進(jìn)行處理，以得到兩標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片的偏移量數(shù)據(jù)，根據(jù)該偏移量數(shù)據(jù)計(jì)算出對(duì)應(yīng)的基值及校準(zhǔn)系數(shù)；根據(jù)基值、校準(zhǔn)系數(shù)以及表面傾斜量計(jì)算得到待測晶圓的曲率值。本發(fā)明通過激光發(fā)射器照射在轉(zhuǎn)動(dòng)或自轉(zhuǎn)狀態(tài)下的待測晶圓，得到整圈的偏移量數(shù)據(jù)，計(jì)算出對(duì)應(yīng)的表面傾斜量，利用兩標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片來獲得基值和標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)，利用表面傾斜量、兩基值和標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)計(jì)算出待測晶圓的曲率值，節(jié)省計(jì)算成本。