一種MOCVD設(shè)備實(shí)時(shí)測(cè)溫系統(tǒng)自校準(zhǔn)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310655576.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN104697638B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-12-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN104697638B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-12-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01J5/00;G01J5/08 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬;焦宏達(dá) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 | 代理人 | 劉杰 |
| 地址 | 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種MOCVD設(shè)備實(shí)時(shí)測(cè)溫系統(tǒng)自校準(zhǔn)方法，半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括根據(jù)實(shí)際熱輻射比值，在理論熱輻射比值?溫度曲線上描出與實(shí)際熱輻射比值對(duì)應(yīng)的點(diǎn)，將點(diǎn)對(duì)應(yīng)的溫度T的值代入計(jì)算公式，分別得到校準(zhǔn)系數(shù)m1和m2。該方法能夠得到雙波長(zhǎng)測(cè)溫結(jié)構(gòu)中第一種波長(zhǎng)λ1和第二種波長(zhǎng)λ2分別對(duì)應(yīng)的校準(zhǔn)系數(shù)m1和m2，從而實(shí)現(xiàn)了MOCVD設(shè)備實(shí)時(shí)測(cè)溫系統(tǒng)自校準(zhǔn)，能夠保證外延片生長(zhǎng)溫度測(cè)量一致而又精確。 |
