一種測(cè)量MOCVD行星式托盤(pán)衛(wèi)星盤(pán)轉(zhuǎn)速方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110775866.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113533770A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113533770A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01P3/36;C23C16/52 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃文勇;馬鐵中;顏華;倪旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 330096 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)艾溪湖北路688號(hào)中興科技園8號(hào)廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量MOCVD行星式托盤(pán)衛(wèi)星盤(pán)轉(zhuǎn)速方法及裝置，通過(guò)MOCVD設(shè)備上的激光測(cè)量探頭并發(fā)出一束激光；該激光照射到MOCVD設(shè)備的行星式托盤(pán)上，隨著行星式托盤(pán)旋轉(zhuǎn)，也會(huì)照射到衛(wèi)星盤(pán)上以及衛(wèi)星盤(pán)上的晶圓片；反射回的激光經(jīng)分光后轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；對(duì)電信號(hào)在2個(gè)trigger脈沖信號(hào)的時(shí)間內(nèi)以固定頻率f采樣，得出每次采樣行星式托盤(pán)轉(zhuǎn)過(guò)的角度Δα；根據(jù)角度Δα，計(jì)算晶圓片邊緣進(jìn)入和處測(cè)量點(diǎn)時(shí)的自轉(zhuǎn)角度值ф0、ф1；通過(guò)計(jì)算出ф0和ф1角的變化即可得出衛(wèi)星盤(pán)的自轉(zhuǎn)速度。本發(fā)明適用于衛(wèi)星盤(pán)轉(zhuǎn)速大于行星式托盤(pán)轉(zhuǎn)速，并且衛(wèi)星盤(pán)上晶圓片數(shù)大于等于2的情況。