一種測(cè)量MOCVD行星式托盤衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121554202.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215415484U 公開（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN215415484U 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) G01P3/36（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃文勇;馬鐵中;顏華;倪旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 330096江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)艾溪湖北路688號(hào)中興科技園8號(hào)廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種測(cè)量MOCVD行星式托盤衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速裝置，包括：激光測(cè)量探頭，安裝在MOCVD設(shè)備的腔體觀察窗上，用于發(fā)射激光束到旋轉(zhuǎn)的行星式托盤、衛(wèi)星盤以及晶圓片上；分光片，用于將反射回的激光分光照射到探測(cè)器，將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；多通道同步數(shù)據(jù)采集卡，用于同步讀電探測(cè)器和Trigger脈沖信號(hào)，并送入到計(jì)算機(jī)中分析計(jì)算，得到衛(wèi)星盤的自轉(zhuǎn)速度。本實(shí)用新型適用于衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速大于行星式托盤轉(zhuǎn)速，并且衛(wèi)星盤上晶圓片數(shù)大于等于2的情況。