一種在線(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)外延片溫度的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310651793.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104697643B 公開(kāi)（公告）日 2018-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN104697643B 申請(qǐng)公布日 2018-06-26
分類(lèi)號(hào) G01J5/06 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南昌昂坤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種在線(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)外延片溫度的方法，屬于半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該方法通過(guò)引入鍍膜窗口的反射率衰減因子和熱輻射衰減因子，可以準(zhǔn)確測(cè)量得到外延片的溫度T。該方法能夠消除反應(yīng)腔窗口鍍膜對(duì)在線(xiàn)實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)值造成的影響、提高在線(xiàn)實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)值準(zhǔn)確度。