用于確定集成電路器件的尺寸的方法和設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710461390.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109148433B 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN109148433B 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類(lèi)號(hào) H01L27/02 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 張曉琳;符祖標(biāo);施耀明;徐益平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 鄭立柱
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了自動(dòng)、準(zhǔn)確、大批量地表征集成電路器件，本公開(kāi)提供用于確定集成電路器件的尺寸的方法和設(shè)備。該方法包括提供集成電路器件的模板圖像，模板圖像包括指示模板圖像中的位置及待測(cè)尺寸的測(cè)量工具。該方法還包括基于模板圖像和集成電路器件的包括目標(biāo)結(jié)構(gòu)的待測(cè)圖像，確定待測(cè)圖像中的目標(biāo)結(jié)構(gòu)的位置。此外，該方法包括基于測(cè)量工具和待測(cè)圖像中的目標(biāo)結(jié)構(gòu)的位置，確定目標(biāo)結(jié)構(gòu)的尺寸。本公開(kāi)的實(shí)施例可以自動(dòng)、準(zhǔn)確、大批量地測(cè)量集成電路器件的尺寸。