一種用于膜厚測(cè)量光機(jī)的高精度支撐裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120341854.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214308622U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214308622U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G01B11/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫思華;朱強(qiáng)銘;劉軍凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京啟坤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姜冰瑩
地址 201203上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N用于膜厚測(cè)量光機(jī)的高精度支撐裝置及系統(tǒng)，所述高精度支撐裝置包括四根立柱、兩根橫梁以及兩個(gè)支撐塊，其中，一根橫梁的兩端分別固定在兩根立柱的頂端，另一根橫梁的兩端分別固定在另外兩根立柱的頂端，所述兩個(gè)支撐塊分別通過(guò)螺栓連接至所述兩根橫梁的側(cè)表面上，所述兩個(gè)支撐塊的上表面用于固定連接至光機(jī)。根據(jù)本申請(qǐng)的高精度支撐裝置，僅需保證支撐塊的加工精度，而其他零件則具有較低的加工精度需求，便能確保光機(jī)相對(duì)于高精度平臺(tái)的位置精度，從而能夠避免對(duì)多數(shù)支撐裝置零件進(jìn)行精密加工；并且，由于無(wú)需再修磨墊片或操作調(diào)整機(jī)構(gòu)，降低了對(duì)裝調(diào)人員的技術(shù)能力要求，節(jié)省了人力、物力和時(shí)間。