用于掃描顯微成像系統(tǒng)的動態(tài)準直方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810863919.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110794560B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN110794560B 申請公布日 2021-07-06
分類號 G02B21/00;G02B21/26;G02B7/00 分類 光學;
發(fā)明人 張弓箭;周廣梅 申請（專利權(quán)）人 睿勵科學儀器（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 蘇娟;李立行
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于掃描顯微成像系統(tǒng)的動態(tài)準直方法，所述掃描顯微成像系統(tǒng)包括光學系統(tǒng)、載物臺以及設(shè)置于光學系統(tǒng)和載物臺之間的載物吸盤，該方法包括：提供平面鏡，將其放置于載物吸盤上；調(diào)整平面鏡和光學系統(tǒng)之間的距離，形成達到單縫衍射要求的狹縫；提供激光器，使激光掠入射在垂直于光學系統(tǒng)的光軸的方向上通過狹縫；沿水平方向移動載物臺，通過圖樣獲取裝置檢測衍射圖樣的變化；調(diào)整載物吸盤沿豎直方向的位置，使衍射圖樣在載物臺運動后保持不變。該動態(tài)準直方法不受光學系統(tǒng)影響，可在線調(diào)整，精度高、更容易操作、重復性好。由于不更改掃描顯微成像系統(tǒng)的原有結(jié)構(gòu)，激光器和圖樣獲取裝置等檢測裝置可放在系統(tǒng)外部，避免污染。