一種用于晶圓應(yīng)力測(cè)試的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120255910.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214313132U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214313132U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 毛宗欽;李宇;劉軍凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京啟坤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姜冰瑩
地址 201203上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N用于晶圓應(yīng)力測(cè)試的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)，其中，所述機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)包括點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)、軸承座、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)以及驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)支座，所述點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至所述軸承座，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)支座，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至所述點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)，所述點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)上方設(shè)有用于支撐和吸附晶圓的真空吸嘴，且所述點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)一側(cè)設(shè)有真空入口。根據(jù)本申請(qǐng)的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)，可以快速地根據(jù)需求進(jìn)行晶圓三點(diǎn)支撐以滿足硅片測(cè)量的需求，且該機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)能夠保證自身運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)確保晶圓在測(cè)量過(guò)程中保證硅片的可靠固定。