用于測(cè)量半導(dǎo)體器件的光學(xué)關(guān)鍵尺寸的方法和設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810911882.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110823089B 公開（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110823089B 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) G01B11/00;G01B11/24 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳慧萍;施耀明;徐益平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 鄭立柱;李春輝
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開的實(shí)施例涉及用于測(cè)量半導(dǎo)體器件的光學(xué)關(guān)鍵尺寸的方法和設(shè)備。該方法包括獲得半導(dǎo)體器件的測(cè)量光譜以及測(cè)量光譜的測(cè)量波長點(diǎn)集合。該方法還包括從測(cè)量波長點(diǎn)集合中選擇第一數(shù)目的波長點(diǎn)。該方法還包括基于第一數(shù)目的波長點(diǎn)，通過插值獲得與測(cè)量波長點(diǎn)集合對(duì)應(yīng)的第一擬合光譜。此外，該方法包括響應(yīng)于第一擬合光譜與測(cè)量光譜之間的第一誤差小于第一閾值，基于第一數(shù)目的波長點(diǎn)來確定半導(dǎo)體器件的光學(xué)關(guān)鍵尺寸。通過以自適應(yīng)的方法自動(dòng)選擇計(jì)算理論光譜的波長采樣點(diǎn)集合，本公開的實(shí)施例避免了對(duì)波長過采樣而導(dǎo)致的計(jì)算資源浪費(fèi)，也不會(huì)導(dǎo)致光譜失真。