一種波片檢測裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610029435.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105628343B 公開（公告）日 2018-06-01
申請公布號 CN105628343B 申請公布日 2018-06-01
分類號 G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉世元;張傳維;谷洪剛 申請（專利權(quán)）人 武漢光電工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430075 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號未來科技城海外人才大樓B4座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了波片檢測裝置，該裝置包括光源、起偏臂、用于放置待檢測波片的樣品臺、檢偏臂和探測器；所述起偏臂、待檢測波片和檢偏臂的中心在同一條直線上，光源發(fā)出的光經(jīng)過起偏臂起偏和調(diào)制后得到調(diào)制偏振光，調(diào)制偏振光經(jīng)過待檢測波片耦合波片的信息后經(jīng)檢偏臂后調(diào)制和檢偏，最后被探測器接收。本發(fā)明利用穆勒矩陣建立波片特征參數(shù)與穆勒矩陣元素之間的關(guān)系，采用穆勒矩陣橢偏儀測量待檢測波片的穆勒矩陣光譜數(shù)據(jù)，進(jìn)一步獲得待檢測波片的特征參數(shù)光譜數(shù)據(jù)。本發(fā)明能夠在一次測量中獲得任意波片的所有特征參數(shù)光譜數(shù)據(jù)，包括相位延遲量、快軸方位角、旋光角、快慢軸透過率幅值比角、退偏指數(shù)。