短波光學(xué)熱探測器及其焦平面陣列器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610303257.3 申請日 -
公開（公告）號 CN105977335B 公開（公告）日 2017-09-29
申請公布號 CN105977335B 申請公布日 2017-09-29
分類號 H01L31/09(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賴建軍 申請（專利權(quán)）人 武漢光電工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 430075 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號未來科技城海外人才大樓B4座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種短波光學(xué)熱探測器及其焦平面陣列，所述短波光學(xué)熱探測器包括電極、電接觸點、光熱探測結(jié)構(gòu)和襯底，電極的兩端分別與電接觸點和光熱探測結(jié)構(gòu)連接，所述光熱探測結(jié)構(gòu)包括熱敏感線和能產(chǎn)生局域表面等離激元共振的導(dǎo)電納粒子。當(dāng)特定波長的電磁輻射作用于導(dǎo)電納粒子時產(chǎn)生局部表面等離激元共振而形成熱點，從而引起熱敏感線升溫而導(dǎo)致其電參數(shù)發(fā)生變化，從而實現(xiàn)探測器對特定電磁輻射的探測。通過調(diào)節(jié)導(dǎo)電納粒子的幾何參數(shù)和組合不同參數(shù)導(dǎo)電納粒子，實現(xiàn)選擇性光譜輻射探測和多波段輻射探測。本發(fā)明的光熱探測器結(jié)構(gòu)簡單，用于實現(xiàn)低成本短波光學(xué)(紫外、可見光和近紅外)波段探測器及其焦平面陣列成像器件。