動量空間光譜測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810280357.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108519155B 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN108519155B 申請公布日 2021-05-07
分類號 G01J3/28(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 資劍;胡松婷;石磊;張譯文;殷?，|;崔靖 申請（專利權(quán)）人 上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 王茂華
地址 200433上海市楊浦區(qū)國定東路200號4號樓412-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種動量空間光譜測量系統(tǒng)。該動量空間光譜測量系統(tǒng)至少包括下述部件：物鏡、光學(xué)透鏡La、光學(xué)透鏡Lb、光譜探測設(shè)備，光信號依次通過所述的物鏡、所述的光學(xué)透鏡La、所述的光學(xué)透鏡Lb后由所述的光譜探測設(shè)備接收。本發(fā)明的動量空間光譜測量系統(tǒng)可用于測量和表征樣品在動量空間中的光學(xué)信息，如帶隙性質(zhì)、能帶結(jié)構(gòu)、色散關(guān)系等。該系統(tǒng)可以實現(xiàn)顯微區(qū)域樣品的光學(xué)測量，最小測量空間范圍可達(dá)1微米；同時實現(xiàn)動量空間與頻率空間的高分辨率測量，對應(yīng)于頻率空間的波長分辨率可低于0.05nm。該系統(tǒng)能夠?qū)悠返臏y量的空間區(qū)域進(jìn)行精確選擇，并可進(jìn)一步用于探測樣品不同位置的空間相干性信息。??