動(dòng)量空間光學(xué)相位測(cè)量系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911017799.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110631994B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN110631994B 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類(lèi)號(hào) G01N21/17（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張譯文;石磊;資劍;殷?，|;胡松婷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海唯源專(zhuān)利代理有限公司 代理人 宋小光
地址 200433上海市楊浦區(qū)國(guó)定東路200號(hào)4號(hào)樓412-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種動(dòng)量空間光學(xué)相位測(cè)量系統(tǒng)，包括：物鏡，置于待測(cè)樣品的后方；第一分束器，置于物鏡的后方；兩個(gè)透鏡，以一定間距置于第一分束器的后方；光電探測(cè)設(shè)備，置于的兩個(gè)透鏡的后方；以及光束發(fā)射裝置，用于形成光束；其中，光束被分成射向待測(cè)樣品的第一路光束和射向第一分束器的第二路光束；第一路光束經(jīng)過(guò)待測(cè)樣品和物鏡而進(jìn)入第一分束器并與第二路光束合束形成匯合光束，匯合光束依次通過(guò)的兩個(gè)透鏡并射入光電探測(cè)設(shè)備。本發(fā)明采用光束分成經(jīng)過(guò)樣品和不經(jīng)過(guò)樣品的兩路光束傳播，而后在樣品的動(dòng)量空間中重新疊加，進(jìn)而利用光學(xué)探測(cè)設(shè)備測(cè)量疊加信號(hào)的強(qiáng)度，從中提取出樣品在動(dòng)量空間中的光學(xué)相位響應(yīng)信息。