基于動(dòng)量空間色散關(guān)系的關(guān)鍵參數(shù)的量測(cè)方法和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010474340.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111595812A 公開（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111595812A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) G01N21/359;G01N21/35;G01N21/21;G06N3/04;G06N3/08 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李同宇;石磊;陳昂;盧國(guó)鵬;殷海瑋;資劍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 鄭振
地址 200443 上海市楊浦區(qū)邯鄲路220號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開的實(shí)施例涉及一種基于動(dòng)量空間色散關(guān)系的關(guān)鍵參數(shù)的量測(cè)方法和系統(tǒng)，該方法包括：根據(jù)入射光參數(shù)和所述待測(cè)目標(biāo)的形貌模型，建立與待測(cè)目標(biāo)的動(dòng)量空間的色散曲線有關(guān)的模擬數(shù)據(jù)集；基于所述模擬數(shù)據(jù)集，訓(xùn)練基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)模型；基于入射光對(duì)待測(cè)目標(biāo)的實(shí)際測(cè)量，獲得待測(cè)目標(biāo)在動(dòng)量空間的色散關(guān)系圖案，其中色散關(guān)系圖案至少指示與待測(cè)目標(biāo)的所述關(guān)鍵參數(shù)有關(guān)的色散曲線；以及基于色散關(guān)系圖案，經(jīng)由經(jīng)訓(xùn)練的預(yù)測(cè)模型，從色散關(guān)系圖案中提取與色散曲線有關(guān)的特征，以便確定與待測(cè)目標(biāo)的至少一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)有關(guān)的估計(jì)值。根據(jù)本公開的方法，可以更為高效、經(jīng)濟(jì)、準(zhǔn)確地進(jìn)行至少一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)的度量。