用于光學(xué)量測的方法、系統(tǒng)、計算設(shè)備和存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011312192.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112484968B 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN112484968B 申請公布日 2021-12-21
分類號 G01M11/02（2006.01）I;G01Q60/24（2010.01）I;G06F30/27（2020.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李同宇;陳昂;石磊;盧國鵬;鄭敏嘉;范靈杰;殷海瑋 申請（專利權(quán)）人 上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 黃倩
地址 200433上海市楊浦區(qū)國定東路200號4號樓412-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及一種用于光學(xué)量測的方法、系統(tǒng)、計算設(shè)備和存儲介質(zhì)，該方法包括：基于關(guān)于參考模型的幾何參數(shù)的預(yù)設(shè)值和色散曲線數(shù)據(jù)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，生成用于輸入神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型的輸入數(shù)據(jù)；基于經(jīng)由多個樣本訓(xùn)練的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型生成與幾何參數(shù)的預(yù)設(shè)值相關(guān)聯(lián)的模擬色散曲線數(shù)據(jù)；獲取關(guān)于待測對象的測量色散曲線數(shù)據(jù)；計算測量色散曲線數(shù)據(jù)與模擬色散曲線數(shù)據(jù)的距離，以便確定距離是否符合預(yù)定條件；以及響應(yīng)于確定距離不符合預(yù)定條件，基于距離確定用于更新關(guān)于參考模型的幾何參數(shù)的預(yù)設(shè)值的梯度，以用于基于經(jīng)更新的預(yù)設(shè)值經(jīng)由神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型再次生成模擬色散曲線數(shù)據(jù)以便再次計算距離。本公開能夠準(zhǔn)確并且快速地針對待測對象進行光學(xué)量測。