鐳射母版及制造該鐳射母版的光刻機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410097075.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103862908B 公開（公告）日 2017-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN103862908B 申請(qǐng)公布日 2017-02-22
分類號(hào) B41N1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 印刷；排版機(jī)；打字機(jī)；模印機(jī)〔4〕;
發(fā)明人 蔡旭楠;李曉笙 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東東南薄膜科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 汕頭市潮睿專利事務(wù)有限公司 代理人 郭曉剛;俞詩永
地址 515000 廣東省汕頭市龍湖區(qū)珠津工業(yè)區(qū)玉津南路9號(hào)東南工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種鐳射母版，包括鐳射母版本體，所述鐳射母版本體工作面上有全息圖案，全息圖案包括多個(gè)形成周期性漸變光柱單元體全息圖的光柱周期性像素點(diǎn)單元，全息圖案中至少一個(gè)區(qū)域中部分像素點(diǎn)單元為局部素描圖案光柱體標(biāo)識(shí)的標(biāo)識(shí)像素點(diǎn)單元，標(biāo)識(shí)像素點(diǎn)單元光柵條紋深線的凹凸規(guī)律與光柱周期性像素點(diǎn)單元光柵條紋深線的凹凸規(guī)律不同，從而產(chǎn)生局部素描圖案光柱體標(biāo)識(shí)。光刻機(jī)包括激光器、多分辨率遮眼片、第一折射透鏡、第二折射透鏡、縮微透鏡、玻璃光柵片，所述激光器、玻璃光柵片、多分辨率遮眼片、第一折射透鏡、第二折射透鏡、縮微透鏡依次呈光學(xué)配合排列。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)具有寬幅鐳射光柱素描水印定位標(biāo)識(shí)全息圖的鐳射母版制作。