光學(xué)檢測方法、系統(tǒng)及光學(xué)器件制造系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110461898.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113218630A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113218630A 申請公布日 2021-08-06
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 談順毅 申請（專利權(quán)）人 江蘇慧光電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務(wù)所 代理人 李佳俊;郭國中
地址 215512江蘇省蘇州市常熟市常熟經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)園1號樓401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光學(xué)檢測方法、系統(tǒng)及光學(xué)器件制造系統(tǒng)，包括：圖像生成系統(tǒng)：生成測試圖像信息，將含有所述測試圖像信息的光輸出至待測器件；圖像檢測系統(tǒng)：根據(jù)經(jīng)過所述待測器件的光得到檢測圖像信息；控制系統(tǒng)：根據(jù)所述檢測圖像信息的成像質(zhì)量，得到像差參數(shù)。本發(fā)明可以模擬任意波前，根據(jù)補償鏡頭中尚未裝配的鏡片，可以直接模擬出已裝配的鏡片能夠達到最終成像效果，若發(fā)現(xiàn)存在問題，則可以直接給出反饋停止裝配進行修正，避免將后續(xù)好的鏡片裝配到已存在問題的鏡頭上。