一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520819579.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN205426803U 公開(公告)日 2016-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN205426803U 申請(qǐng)公布日 2016-08-03
分類號(hào) G01N21/88(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 詹炳輝 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市科恩石墨烯納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市科恩石墨烯納米科技有限公司
地址 518033 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道濱河大道5003號(hào)愛(ài)地大廈西座19樓ABC房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置,包括:機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的掃描機(jī)構(gòu)、控制器、操作機(jī)構(gòu)、拍照機(jī)構(gòu)、圖像處理器、密封罩、鼓風(fēng)器、及抽真空器;利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè),具有較高的準(zhǔn)確性,采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性,激光傳感器采集激光信號(hào),有控制單元分析,其不透光的特性能夠便于試驗(yàn),具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果;密封罩內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境,減少密封罩能的空氣,減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響;減少密封罩的粉塵避免,密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響;提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率,為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。