大數(shù)值孔徑激光鏡頭成像檢驗(yàn)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010827287.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111855159A 公開(kāi)(公告)日 2020-10-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN111855159A 申請(qǐng)公布日 2020-10-30
分類號(hào) G01M11/02(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 周志凱;劉良清;徐海鋒 申請(qǐng)(專利權(quán))人 卡門(mén)哈斯激光科技(蘇州)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶天成卓越專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 卡門(mén)哈斯激光科技(蘇州)有限公司
地址 215201江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹西路155號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種大數(shù)值孔徑激光鏡頭成像檢驗(yàn)系統(tǒng),單模單色光源和光纖準(zhǔn)直鏡構(gòu)成平行光系統(tǒng),待測(cè)激光鏡頭沿光軸滑動(dòng)安裝在光纖準(zhǔn)直鏡和標(biāo)準(zhǔn)物鏡之間,用于將入射平行光束聚焦為焦點(diǎn)光斑,且焦點(diǎn)光斑的位置與標(biāo)準(zhǔn)物鏡的焦點(diǎn)重合,標(biāo)準(zhǔn)物鏡和標(biāo)準(zhǔn)管鏡組成共軛成像系統(tǒng),用于將焦點(diǎn)光斑放大成聚焦光束像并投影到所述面陣CCD元件上,面陣CCD元件的位置與標(biāo)準(zhǔn)管鏡的焦點(diǎn)重合,共軛成像系統(tǒng)的放大倍率為10X?100X,待測(cè)激光鏡頭的數(shù)值孔徑NA小于等于標(biāo)準(zhǔn)物鏡的數(shù)值孔徑NA。具有操作靈活、可視性強(qiáng)、容易判定和標(biāo)準(zhǔn)化的特點(diǎn),提升激光光學(xué)鏡頭設(shè)計(jì)及光學(xué)檢驗(yàn)的質(zhì)量和效率,使激光鏡頭的生產(chǎn)具有更高的生產(chǎn)效率和更規(guī)范的檢驗(yàn)質(zhì)量控制。??