二維材料異質(zhì)結(jié)熱電器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210158039.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114530546A 公開（公告）日 2022-05-24
申請公布號 CN114530546A 申請公布日 2022-05-24
分類號 H01L35/34（2006.01）I;H01L35/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 易典;王榮福 申請（專利權(quán)）人 深圳市漢嵙新材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 518100廣東省深圳市光明新區(qū)公明街道上村社區(qū)冠城低碳產(chǎn)業(yè)園D棟1001
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種二維材料異質(zhì)結(jié)熱電器件的制備方法及二維材料異質(zhì)結(jié)熱電器件。該二維材料異質(zhì)結(jié)熱電器件的制備方法包括如下步驟：在基材上形成二維材料異質(zhì)結(jié)，二維材料異質(zhì)結(jié)由包括兩種不同的二維層狀材料的原料經(jīng)層疊形成；在基材上形成遮蔽二維材料異質(zhì)結(jié)的光刻膠，光刻膠為電子束敏感的光刻膠；采用電子束照射光刻膠的預(yù)設(shè)區(qū)域，形成暴露部分二維材料異質(zhì)結(jié)的蝕刻開口；通過蝕刻開口對二維材料異質(zhì)結(jié)進(jìn)行刻蝕；過蝕刻開口制備金屬電極；及去除光刻膠。上述制備方法能夠?qū)崿F(xiàn)在尺寸較小的二維材料異質(zhì)結(jié)之間形成金屬電極，該金屬電極可以用作觸點(diǎn)并進(jìn)一步通過引線電連接于外部的測試電路。