采用MOCVD工藝制備REBCO高溫超導(dǎo)帶材的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911140603.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111020528B 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN111020528B 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) C23C16/40（2006.01）I;H01B12/02（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 熊旭明;邰林益;任洪峰;邢曉杰;王昊;蔡淵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州新材料研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;程?hào)|輝
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖街218號(hào)生物納米園C18棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種采用MOCVD技術(shù)制備REBCO高溫超導(dǎo)帶材的方法，包括：S1、將金屬有機(jī)源送至霧化器，使其霧化；S2、霧化后的金屬有機(jī)源送至蒸發(fā)器，使其蒸發(fā)成金屬有機(jī)源氣體；S3、將金屬有機(jī)源氣體送入MOCVD反應(yīng)室，制得REBCO超導(dǎo)薄膜；霧化器包括：內(nèi)管，外管，由內(nèi)管的管腔形成的內(nèi)流道，形成于內(nèi)管和外管間的外流道；在步驟S1中，將金屬有機(jī)源溶液通入內(nèi)流道并從內(nèi)流道的輸出口噴出，將金屬有機(jī)源溶劑通入外流道并從外流道的輸出口噴出，并沖刷所述內(nèi)流道的輸出口。本申請(qǐng)可獲得更高的沉積速率和更高的產(chǎn)能。