用于MOCVD上控制流量的泵液裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111234523.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114017398A 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN114017398A 申請公布日 2022-02-08
分類號 F04F1/06（2006.01）I 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 王延愷;迮建軍;古宏偉;蔡淵 申請（專利權）人 蘇州新材料研究所有限公司
代理機構 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 范晴
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園C18樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了用于MOCVD上控制流量的泵液裝置，包括液體容器、安裝在所述液體容器上的液體管道和氣體管道、以及控制中心；氣體管道的一端連接氣體源，氣體管道的另一端連接液體溶液，所述氣體管道上安裝有用于檢測并控制氣體流量的質量流量控制器，所述液體管道上安裝有用于檢測液體流量的液體流量傳感器，所述質量流量控制器、所述液體流量傳感器均與所述控制中心電連接。該泵液裝置通過液體流量來反饋控制氣體流量，只要在控制中心上設定液體流量，控制中心即可精確地調節(jié)氣體流量，進而達到精確控制液體流量的目的。