用于MOCVD上控制流量的泵液裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202111234523.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN114017398A | 公開(公告)日 | 2022-02-08 |
申請公布號 | CN114017398A | 申請公布日 | 2022-02-08 |
分類號 | F04F1/06(2006.01)I | 分類 | 液體變容式機械;液體泵或彈性流體泵; |
發(fā)明人 | 王延愷;迮建軍;古宏偉;蔡淵 | 申請(專利權)人 | 蘇州新材料研究所有限公司 |
代理機構 | 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 | 代理人 | 范晴 |
地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園C18樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了用于MOCVD上控制流量的泵液裝置,包括液體容器、安裝在所述液體容器上的液體管道和氣體管道、以及控制中心;氣體管道的一端連接氣體源,氣體管道的另一端連接液體溶液,所述氣體管道上安裝有用于檢測并控制氣體流量的質量流量控制器,所述液體管道上安裝有用于檢測液體流量的液體流量傳感器,所述質量流量控制器、所述液體流量傳感器均與所述控制中心電連接。該泵液裝置通過液體流量來反饋控制氣體流量,只要在控制中心上設定液體流量,控制中心即可精確地調節(jié)氣體流量,進而達到精確控制液體流量的目的。 |
