一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110373738.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112921279A 公開（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN112921279A 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) C23C14/30 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 戰(zhàn)永剛;金小桃;戰(zhàn)捷;湯兆勝;尹強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市三束鍍膜技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 劉曰瑩;彭濤
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道福民社區(qū)核電工業(yè)園5號(hào)101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)，所述擋板結(jié)構(gòu)包括擋板、觀察筒、支撐架和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述擋板為一底端開口頂端密閉的筒形結(jié)構(gòu)，所述擋板的側(cè)壁上設(shè)有一開孔，所述開孔連接所述觀察筒一端，所述觀察筒固定于所述支撐架上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端連接至所述支撐架上，驅(qū)動(dòng)所述支撐架升降和轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明的擋板結(jié)構(gòu)應(yīng)用于電子槍鍍膜裝置上后，能夠在膜料預(yù)熔時(shí)將蒸發(fā)源完全封閉，避免了坩堝周邊的嚴(yán)重臟污和基片被污染的情況，且本擋板結(jié)構(gòu)上還設(shè)有觀察筒，可在擋板扣下時(shí)實(shí)時(shí)對(duì)膜料的熔料狀況進(jìn)行觀察。本發(fā)明用于雙電子槍的鍍膜設(shè)備時(shí)，可防止兩個(gè)坩堝的膜料相互污染。