一種封閉式擋板結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120717028.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214830630U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214830630U 申請公布日 2021-11-23
分類號 C23C14/30（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 戰(zhàn)永剛;金小桃;戰(zhàn)捷;湯兆勝;尹強 申請（專利權）人 深圳市三束鍍膜技術有限公司
代理機構 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 劉曰瑩;彭濤
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道福民社區(qū)核電工業(yè)園5號101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種封閉式擋板結構，所述擋板結構包括擋板、觀察筒、支撐架和驅動機構，所述擋板為一底端開口頂端密閉的筒形結構，所述擋板的側壁上設有一開孔，所述開孔連接所述觀察筒一端，所述觀察筒固定于所述支撐架上，所述驅動機構的動力輸出端連接至所述支撐架上，驅動所述支撐架升降和轉動。本實用新型的擋板結構應用于電子槍鍍膜裝置上后，能夠在膜料預熔時將蒸發(fā)源完全封閉，避免了坩堝周邊的嚴重臟污和基片被污染的情況，且本擋板結構上還設有觀察筒，可在擋板扣下時實時對膜料的熔料狀況進行觀察。本實用新型用于雙電子槍的鍍膜設備時，可防止兩個坩堝的膜料相互污染。