一種具旋轉艙體的封閉靶倉

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110266009.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113061856A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113061856A 申請公布日 2021-07-02
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 戰(zhàn)永剛;戰(zhàn)捷;馮紅濤;周林;尹強 申請（專利權）人 深圳市三束鍍膜技術有限公司
代理機構 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 劉曰瑩;袁曼曼
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道福民社區(qū)核電工業(yè)園5號101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具旋轉艙體的封閉靶倉，包括艙體和濺射靶，所述濺射靶設于所述艙體的腔體內；所述艙體外還設有：門框、艙門、第一驅動裝置和第二驅動裝置，所述艙體上設有開口，所述門框設于所述開口上，所述第二驅動裝置驅動所述艙門運動，以與門框相配合實現(xiàn)對所述艙體的關閉與打開；所述艙門與所述門框相對接時，所述艙體形成一密閉容器；所述第一驅動裝置驅動所述艙體旋轉。本發(fā)明對濺射靶實現(xiàn)真空密封的同時，減小了靶倉開關所占用的空間，節(jié)省了鍍膜機內的空間，且通過第二驅動裝置驅動艙門前推和后拉實現(xiàn)關閉和打開，艙門關閉后由第二驅動裝置持續(xù)前推的動作實現(xiàn)鎖緊，無需再額外設置鎖緊機構進行鎖緊，簡化了設備，操作更加簡單便捷。