一種半導(dǎo)體加工用檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121251153.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215375134U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN215375134U 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01N21/88（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 胡建策;徐際泱;胡葵林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏萬(wàn)泰照明科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 呼和浩特市盛聯(lián)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 經(jīng)國(guó)富
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)西區(qū)經(jīng)天東路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體加工用檢測(cè)裝置，屬于半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該半導(dǎo)體加工用檢測(cè)裝置包括放大調(diào)節(jié)組件、夾持調(diào)節(jié)組件、夾持固定組件以及清潔組件。所述第一滑軌固定在所述箱體的內(nèi)部下方，所述滑動(dòng)座滑動(dòng)連接在所述第一滑軌上，所述放大鏡連接在所述支撐架的一側(cè)。所述第二滑軌連接在所述箱體的上方，所述螺紋套連接在所述連接柱的一側(cè)，所述螺紋桿與所述螺紋套之間螺紋連接，所述氣缸固定在所述箱體的上方，所述氣缸的輸出端與所述連接柱連接。有利于對(duì)檢測(cè)裝置的位置和高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，有利于對(duì)不同尺寸的半導(dǎo)體進(jìn)行固定，有利于對(duì)半導(dǎo)體固定的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得半導(dǎo)體檢測(cè)較為全面，提高了半導(dǎo)體的檢測(cè)效果。