分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版組件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010837092.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111996489B 公開(kāi)（公告）日 2022-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111996489B 申請(qǐng)公布日 2022-01-07
分類號(hào) C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C4/12（2016.01）I;C09J4/06（2006.01）I;C09J11/06（2006.01）I;C09J11/08（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 錢超;楊柯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京中律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈振濤
地址 210000江蘇省南京市棲霞區(qū)紅楓科技園A7-17號(hào)門1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種分段式掩膜片，其為網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)，包括外部的框體、內(nèi)部的孔體、連接部、卡接槽口、突起；框體內(nèi)部通過(guò)多組連接部間隔，間隔位置為內(nèi)部的孔體；至少獨(dú)立地設(shè)置有一組卡接槽口、一組突起設(shè)置在框體的任一兩個(gè)側(cè)面；卡接槽口和突起結(jié)構(gòu)相匹配。同時(shí)，還公開(kāi)了掩膜版、掩膜版組件及其制作方法，該組件用于OLED器件蒸鍍用通過(guò)改進(jìn)和設(shè)計(jì)可拆卸安裝時(shí)粘結(jié)劑的組份和份數(shù)，能夠可拆卸地將有損壞的分段式掩膜片進(jìn)行可選擇地、有目的的直接更換，重組后，再將其進(jìn)行二次或多次使用，降低了修復(fù)成本，提升了高精密金屬掩膜版的使用良率以及工作效率。