一種掩膜版Stick條的沖壓夾具、沖壓裝置及加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111475053.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114160647A 公開(kāi)(公告)日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114160647A 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類(lèi)號(hào) B21D22/04(2006.01)I;B21D43/00(2006.01)I;B21D1/02(2006.01)I 分類(lèi) 基本上無(wú)切削的金屬機(jī)械加工;金屬?zèng)_壓;
發(fā)明人 錢(qián)超;李成林;張蔡星 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 南京高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董成
地址 210000江蘇省南京市棲霞區(qū)紅楓科技園A7-17號(hào)門(mén)1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出的一種掩膜版Stick條的沖壓夾具、沖壓裝置及加工方法,涉及掩膜版加工設(shè)備領(lǐng)域。沖壓夾具包括:支撐臺(tái)面,兩個(gè)支撐臺(tái)面平行設(shè)置,之間具有沿y軸方向延伸的工件放置區(qū)域;以及鎖定裝置,其包括壓件和第一驅(qū)動(dòng)單元,壓件位于所述的支撐臺(tái)面的上側(cè),第一驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)壓件沿z軸方向的移動(dòng);多個(gè)鎖定裝置設(shè)置在工件放置區(qū)域的兩側(cè),且沿y軸方向分布;以及整平裝置,其包括壓輥和壓輥輸送裝置,壓輥位于工件放置區(qū)域的上方,壓輥輸送裝置能夠帶動(dòng)壓輥沿z軸方向和y軸方向的移動(dòng)。沖壓裝置包含上述的沖壓夾具。加工時(shí),利用整平裝置將掩膜版Stick條后并利用鎖定裝置進(jìn)行鎖緊。本發(fā)明能夠提高大尺寸的掩膜版Stick條的沖壓加工精度和良率。