防止硅片電阻局部放電失效的方法、結(jié)構(gòu)及功率半導(dǎo)體器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911368420.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113053856A 公開(公告)日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113053856A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) H01L23/60;H01L27/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 齊放;李道會(huì);王彥剛;戴小平 申請(qǐng)(專利權(quán))人 湖南國芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 周長清;廖元寶
地址 412001 湖南省株洲市石峰區(qū)田心高科園半導(dǎo)體三線辦公大樓1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種防止硅片電阻作為門極電阻產(chǎn)生局部放電失效的方法、結(jié)構(gòu)及功率半導(dǎo)體器件,屬于高壓功率模塊技術(shù)領(lǐng)域,用于解決由于硅片電阻作為門極電阻產(chǎn)生局部放電失效的問題。采用的技術(shù)方案為:通過綁定線或者優(yōu)化襯板或者優(yōu)化硅片電阻的方式,使得硅片電阻上下表面的電位處于同一水平,進(jìn)而使得硅片電阻整體處于同一電位水平。本發(fā)明的方法、結(jié)構(gòu)及功率半導(dǎo)體器件具有操作簡便、避免硅片電阻作為門極電阻出現(xiàn)局部放電失效、消除電荷積累,提高工作可靠性等優(yōu)點(diǎn)。