一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的方法及設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110125905.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102145894B 公開（公告）日 2013-06-05
申請公布號 CN102145894B 申請公布日 2013-06-05
分類號 C01B33/037(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 譚毅;戰(zhàn)麗姝;姜大川;顧正;鄒瑞洵 申請（專利權）人 大連隆盛科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市即墨市普東鎮(zhèn)太陽能產業(yè)基地
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域。一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的方法，在熔煉坩堝中加熱熔化造渣劑形成造渣劑熔液，并保持其液態(tài)，同時通過加料裝置向水冷銅坩堝中連續(xù)加入高磷、高硼和高金屬的多晶硅料，硅料在電子束轟擊下熔化成硅熔液，并熔煉去除雜質磷；除磷后的低磷硅熔液導流進入到造渣劑熔液之中，在熔入的過程中，硅熔液中的雜質硼與造渣劑反應去除雜質硼，加滿料后將熔煉坩堝中的熔液加熱保持液態(tài)熔煉3-10分鐘，定向凝固，切去硅錠頂部廢渣及金屬含量較高的硅塊即可。本發(fā)明綜合利用電子束熔煉除磷、渣濾熔煉除硼及定向凝固除金屬的技術去除多晶硅中的磷、硼和金屬雜質，提純效果好，生產效率高，適合批量生產。