LED晶圓擴張翻邊裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911347277.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110993554A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110993554A 申請公布日 2020-04-10
分類號 H01L21/683;H01L33/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 狄建科;秦松;劉雪;胡斌 申請（專利權）人 蘇州展德自動化設備有限公司
代理機構(gòu) 江蘇圣典律師事務所 代理人 王玉國
地址 215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及LED晶圓擴張翻邊裝置，包括直線驅(qū)動機構(gòu)以及連接于其上的晶圓擴張機構(gòu)，晶圓擴張機構(gòu)包含連接固定板和支撐架，支撐架上固定一底板，底板上豎立安裝有導向柱，中部安裝有絲杠支座，絲杠支撐于絲杠支座上，升降板套置于導向柱上，升降板的中部安裝有與絲杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撐柱，支撐柱的頂端連接固定盤，固定盤上開設有容納槽，加熱盤置于容納槽內(nèi)，固定盤的邊緣部設有環(huán)形凹槽，膜片撐環(huán)嵌入環(huán)形凹槽中，固定盤上安裝擴晶盤，擴晶盤的外緣設有用于容納內(nèi)環(huán)的限位臺階部，導向柱的頂端安裝有擴晶載板，其上安裝有旋轉(zhuǎn)壓緊機構(gòu)。自動化實現(xiàn)擴晶后翻邊，使擴晶后的膜片長時間保持張力不變，擴晶效率高，效果好。