光波導(dǎo)微流體芯片的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010052316.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111239897B 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN111239897B 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) G02B6/132（2006.01）I;G02B6/138（2006.01）I;G01N21/03（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳昌;劉博;豆傳國 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃少波
地址 201800上海市嘉定區(qū)城北路235號(hào)1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種光波導(dǎo)微流體芯片的制造方法，包括，提供襯底，在所述襯底上形成厚度為2～3μm的下包層；在下包層上形成波導(dǎo)層，波導(dǎo)層是氮化硅材料；以波導(dǎo)層形成光波導(dǎo)；在波導(dǎo)層上形成厚度為15～30μm的上包層；形成微流道，所述微流道由上而下貫穿所述上包層、所述波導(dǎo)層和所述下包層延伸進(jìn)所述襯底；所述光波導(dǎo)用以將光沿水平方向?qū)胨鑫⒘鞯纼?nèi)，所述下包層是二氧化硅，所述上包層是高分子聚合材料，所述微流道延伸進(jìn)所述襯底10～15μm，寬度為10?100μm。具有有益效果：生產(chǎn)芯片級(jí)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，把傳統(tǒng)的臺(tái)式甚至大型的光學(xué)系統(tǒng)縮小到芯片尺寸，保證同等甚至更出色的分析性能，實(shí)現(xiàn)微納尺度下的生物樣品的高通量芯片級(jí)光學(xué)檢測(cè)和分析集成系統(tǒng)，大幅度降低系統(tǒng)成本。