一種深紫外LEDs制備方法及深紫外LEDs

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011610434.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN114695603A 公開(公告)日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114695603A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) H01L33/00(2010.01)I;H01L33/40(2010.01)I;H01L33/42(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳洋;孫曉娟;黎大兵;蔣科;賁建偉;張山麗 申請(qǐng)(專利權(quán))人 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 130033吉林省長春市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的深紫外LEDs制備方法,以過原位生長的圖案化石墨烯作為深紫外LEDs的p接觸層,同時(shí)利用原位摻雜方法調(diào)控石墨烯的能級(jí),替代傳統(tǒng)的紫外光吸收p?GaN接觸層材料,進(jìn)而提高深紫外LEDs的光取出效率,本發(fā)明提供的深紫外LEDs制備方法為制備高功率、頂出射的深紫外LEDs提供了一種簡便、可行的新方案。另外,本發(fā)明還提供了一種由上述制備方法制備得到的深紫外LEDs。