正弦波細(xì)分方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210390119.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN114688978A 公開(公告)日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114688978A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) G01B11/02(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 楊寧;徐桂成;劉震宇;余毅 申請(qǐng)(專利權(quán))人 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 130033吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光柵計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域,具體提供一種正弦波細(xì)分方法,包括步驟:S1、通過三光柵干涉掃描法提取三束相差120度的正弦波電流信號(hào);S2、通過處理電路將所述三束相差120度的正弦波電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),獲得所述三束相差120度的正弦波電流信號(hào)的實(shí)時(shí)幅值的數(shù)字信息;S3、通過所述處理電路對(duì)所述數(shù)字信息在六個(gè)象限內(nèi)進(jìn)行細(xì)分插值算法運(yùn)算,得到細(xì)分后的連續(xù)的數(shù)字二進(jìn)制角度位置值。本發(fā)明提供的正弦波細(xì)分方法,基于干涉式光柵尺的三光柵干涉掃描法輸出三束相差120度正弦波的特點(diǎn),通過本發(fā)明的電路處理和計(jì)算,每三束正弦周期都可以通過反正切插值運(yùn)算細(xì)分,平均等分成8192份,從而達(dá)到很高的分辨率。