一種管式PECVD結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720882670.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207512258U 公開（公告）日 2018-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN207512258U 申請(qǐng)公布日 2018-06-19
分類號(hào) C23C16/54;C23C16/44;H01L31/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 謝明會(huì);趙洪俊;平國慶;何為晉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 奧特斯維能源（太倉）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 奧特斯維能源（太倉）有限公司;太倉海潤太陽能有限公司
地址 215434 江蘇省蘇州市太倉市港口開發(fā)區(qū)平江路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種管式PECVD結(jié)構(gòu)，包括單向閥，單向閥包括閥體和活塞組件，閥體的一端口與管式PECVD的爐管相連通，另一端口與連接有真空泵的連接管相連通，爐管的連接閥體的端口位于活塞組件的底部、連接管的連接閥體的端口位于活塞組件的側(cè)部，以使活塞組件將爐管和連接管隔開；當(dāng)爐管中的氣體壓強(qiáng)大于連接管中的氣體壓強(qiáng)時(shí)，爐管中的氣體能夠推動(dòng)活塞組件向上運(yùn)動(dòng)，以使?fàn)t管和連接管連通，氣體由爐管流入連接管內(nèi)。本實(shí)用新型提出的管式PECVD結(jié)構(gòu)，當(dāng)爐管中的氣體壓強(qiáng)大于連接管中的氣體壓強(qiáng)時(shí)，爐管中的氣體能夠推動(dòng)活塞組件向上運(yùn)動(dòng)，使?fàn)t管內(nèi)氣體只能沿著真空泵抽氣方向抽離，不會(huì)出現(xiàn)連接管內(nèi)氣體回流的情況。