一種用于高溫擴(kuò)散爐的噴淋管及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510416519.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105070783B 公開（公告）日 2018-08-24
申請公布號 CN105070783B 申請公布日 2018-08-24
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫海平;李靜;李洪波;張斌 申請（專利權(quán)）人 奧特斯維能源（太倉）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 215434 江蘇省蘇州市太倉市太倉港港口開發(fā)區(qū)平江路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氣體擴(kuò)散噴淋管，所述氣體擴(kuò)散噴淋管的一端為進(jìn)氣口，所述噴淋管的另一端為密封端，所述噴淋管上設(shè)有噴淋口，所述噴淋口與彎曲噴嘴連通，所述彎曲噴嘴上設(shè)有彎曲部和出氣口，所述出氣口的內(nèi)徑大于噴淋口的直徑，所述出氣口的出氣方向與噴淋管的進(jìn)氣口的進(jìn)氣方向一致。本發(fā)明還公開利用上述氣體擴(kuò)散噴淋管的高溫擴(kuò)散爐，改變了攜源氮?dú)鈬娏艿姆较?，將磷源通過噴淋管直接導(dǎo)入到擴(kuò)散爐的不同位置，攜源氮?dú)饪梢詮男滦蛧娏芄芷椒€(wěn)流出而不會造成紊流，爐管中的硅片不再因位置的限制而無法與磷源進(jìn)行充分反應(yīng)。