一種SOI混合集成激光器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910290375.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109921282B 公開（公告）日 2020-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN109921282B 申請(qǐng)公布日 2020-02-18
分類號(hào) H01S5/22;H01S5/068 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 常江;宋澤;張奇;呂康偉;唐山;熊焰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 光聯(lián)迅通科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都誠(chéng)中致達(dá)專利代理有限公司 代理人 曹宇杰
地址 621000 四川省綿陽(yáng)市游仙經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)凱越路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種SOI混合集成激光器，包括：SOI襯底、在SOI襯底兩側(cè)相對(duì)設(shè)置、且用于形成反射腔的反射結(jié)構(gòu)；以及位于反射結(jié)構(gòu)之間的三五族有源區(qū)波導(dǎo)。通過(guò)在SOI襯底上制作的一維光子晶體波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)三五族有源區(qū)波導(dǎo)與SOI襯底的硅波導(dǎo)層之間的耦合轉(zhuǎn)換，并利用光子晶體的圓孔填充負(fù)折射率溫度系數(shù)的聚合物材料，實(shí)現(xiàn)整體的折射率穩(wěn)定，不隨溫度變化而改變，不需要使用TEC來(lái)控制溫度，可極大降低了光模塊/光器件的功耗，減小器件封裝空間，有利于光器件通道速率擴(kuò)容，便于全光互聯(lián)技術(shù)的實(shí)現(xiàn)。