一種SOI混合集成激光器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910290375.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109921282A 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN109921282A 申請公布日 2019-06-21
分類號 H01S5/22（2006.01）I; H01S5/068（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳思鄉(xiāng); 宋澤; 張奇; 呂康偉; 唐山; 熊焰 申請（專利權(quán)）人 光聯(lián)迅通科技集團有限公司
代理機構(gòu) 成都誠中致達專利代理有限公司 代理人 曹宇杰
地址 621000 四川省綿陽市游仙經(jīng)濟開發(fā)區(qū)凱越路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種SOI混合集成激光器，包括SOI襯底、形成于SOI襯底上且相對設(shè)置的反射結(jié)構(gòu)、位于反射結(jié)構(gòu)之間的三五族有源區(qū)波導(dǎo)。通過在SOI襯底上制作的一維光子晶體波導(dǎo)實現(xiàn)三五族有源區(qū)波導(dǎo)與SOI襯底的硅波導(dǎo)層之間的耦合轉(zhuǎn)換，并利用光子晶體的圓孔填充負(fù)折射率溫度系數(shù)的聚合物材料，實現(xiàn)整體的折射率穩(wěn)定，不隨溫度變化而改變，不需要使用TEC來控制溫度，可極大降低了光模塊/光器件的功耗，減小器件封裝空間，有利于光器件通道速率擴容，便于全光互聯(lián)技術(shù)的實現(xiàn)。