熱壓鍵合設(shè)備的控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110928416.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113485488A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113485488A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類(lèi)號(hào) G05D23/24（2006.01）I 分類(lèi) 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 張思華;林超;曾杰生;李晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 佛山丁智生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉羚
地址 528300廣東省佛山市順德區(qū)北滘鎮(zhèn)三樂(lè)路北一號(hào)廣東工業(yè)設(shè)計(jì)城設(shè)計(jì)廣場(chǎng)二期B2區(qū)三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種熱壓鍵合設(shè)備的控制系統(tǒng)，包括控制模塊以及與其連接的檢測(cè)模塊、驅(qū)動(dòng)模塊和人機(jī)交互模塊，檢測(cè)模塊與驅(qū)動(dòng)模塊還分別連接熱壓鍵合設(shè)備的環(huán)境裝置與控溫裝置；控制模塊接收人機(jī)交互模塊發(fā)送的解析指令進(jìn)行解析得到工藝參數(shù)、驅(qū)動(dòng)指令、檢測(cè)指令及啟動(dòng)指令；根據(jù)驅(qū)動(dòng)指令控制驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)環(huán)境裝置完成動(dòng)作，根據(jù)檢測(cè)指令控制檢測(cè)模塊檢測(cè)環(huán)境裝置的狀態(tài)信息；在狀態(tài)信息滿足啟動(dòng)條件后，根據(jù)啟動(dòng)指令控制檢測(cè)模塊檢測(cè)控溫裝置的溫度值；將工藝參數(shù)與溫度值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果獲得控溫指令，以使驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)控溫裝置進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，不僅可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)的控制各模塊完成芯片鍵合，且對(duì)工藝過(guò)程中的溫度控制更精準(zhǔn)。