一種用于半導體制程工藝的烤箱裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921308348.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210399765U | 公開（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申請公布號 | CN210399765U | 申請公布日 | 2020-04-24 |
| 分類號 | F26B9/06;F26B23/00;F26B25/00 | 分類 | 干燥; |
| 發(fā)明人 | 劉東明;周鑫 | 申請（專利權）人 | 上海旻艾半導體有限公司 |
| 代理機構 | 南京申云知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 上海旻艾半導體有限公司 |
| 地址 | 200120 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)飛渡路66號6棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開一種用于半導體制程工藝的烤箱裝置；包括帶有烘烤功能的烤箱本體，該所述的烤箱本體的兩側內(nèi)壁均設置有上下間隔均勻的若干組橫向掛桿；兩側的橫向掛桿均對稱設置，而每一組橫向掛桿則均包括有若干個縱向間隔均勻的單個橫向掛桿組成；而兩側相對應的每組橫向掛桿上還均設置有L形狀結構的掛板。本實用新型的烤箱內(nèi)部的空間可自由自主的分隔成可大可小的不同層數(shù)的儲存空間。 |
