X射線管性能測(cè)試設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110491545.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113218634A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113218634A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) G01M11/02（2006.01）I;G01R31/00（2006.01）I;H01J9/42（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉宇榮;李永明;王少哲;葛銳;李勝明;黃浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山國(guó)力大功率器件工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州九方專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張文婷
地址 215316江蘇省蘇州市昆山開(kāi)發(fā)區(qū)西湖路28號(hào)6號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種X射線管性能測(cè)試設(shè)備，包括真空腔體、冷陰極測(cè)試組件、柵極升降組件、液冷陽(yáng)極組件、焦斑測(cè)試組件、高真空度溫控組件和X射線管性能測(cè)試系統(tǒng)，所述真空腔體上設(shè)有艙門以及內(nèi)部設(shè)有載物平臺(tái)。該X射線管性能測(cè)試設(shè)備具有陰極、柵極可調(diào)節(jié)，陽(yáng)極可替換的特征，可用于冷陰極X射線管在制備前各項(xiàng)仿真數(shù)據(jù)的驗(yàn)證，在無(wú)需制備成管的情況下很方便的調(diào)整射線管性能的各項(xiàng)參數(shù)，亦可檢驗(yàn)石墨電弧法、固相熱解法、化學(xué)氣相沉積、熱解聚合物、絲網(wǎng)印刷等不同制備工藝下不同批次的冷陰極性能。這些特點(diǎn)能夠極大的縮短冷陰極X射線管的開(kāi)發(fā)時(shí)間，節(jié)省制管驗(yàn)證費(fèi)用；對(duì)冷陰極進(jìn)行質(zhì)量檢查，提升冷陰極X射線管的工作穩(wěn)定性及成品率。