一種全自動MOCVD設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210293615.2 申請日 -
公開(公告)號 CN114645322A 公開(公告)日 2022-06-21
申請公布號 CN114645322A 申請公布日 2022-06-21
分類號 C30B25/00(2006.01)I;B01D46/00(2022.01)I;B01D53/00(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 倪明堂;趙健州;何立波;吳俊美 申請(專利權)人 廣東省智能機器人研究院
代理機構 東莞卓為知識產權代理事務所(普通合伙) 代理人 -
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)學府路1號5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種全自動MOCVD設備,包括機架、物料轉移裝置、反應裝置以及尾氣處理裝置,物料轉移裝置和反應裝置均安裝于機架的頂面上,尾氣處理裝置安裝于機架的頂面下,物料轉移裝置用于將物料放入反應裝置中或者將物料從反應裝置中取出,尾氣處理裝置位于反應裝置的下方并與反應裝置相連通以對生產過程中產生的尾氣進行收集處理。本發(fā)明通過以上結構實現了對MOCVD設備生產過程的全自動,有效地提高了自動化程度,提高了工作效率。