極紫外光產(chǎn)生的方法和激光等離子體極紫外光源的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210389706.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114675509A 公開（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN114675509A 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王新兵;陳澤功;左都羅;馬修泉;陸陪祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東省智能機(jī)器人研究院
代理機(jī)構(gòu) 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 523808廣東省東莞市松山湖園區(qū)學(xué)府路1號(hào)5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及極紫外光產(chǎn)生的方法以及激光等離子體極紫外光源的裝置，極紫外光產(chǎn)生的方法包括步驟：液滴驅(qū)動(dòng)處理、信號(hào)檢測(cè)處理以及位置處理。將激光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)化為驅(qū)動(dòng)信號(hào)，擾動(dòng)液體，產(chǎn)生液滴，檢測(cè)所述液滴的極紫外輻射強(qiáng)度，通過計(jì)算獲取所述激光脈沖的位置及所述液滴的位置信息，調(diào)節(jié)所述激光脈沖的位置，使所述激光脈沖聚焦于所述液滴上，產(chǎn)生極紫外光。采用本發(fā)明所述的極紫外光產(chǎn)生的方法以及激光等離子體極紫外光源的裝置，可以不需要增加同步控制裝置，在高頻下實(shí)現(xiàn)激光脈沖與液滴的精確同步，而且通過調(diào)節(jié)激光脈沖的位置，實(shí)現(xiàn)精確打靶，極大提高了等離子體極紫外光源的轉(zhuǎn)換效率，其次所述方法和裝置都簡(jiǎn)便易操作。