極紫外光產(chǎn)生方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210302262.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114675502A 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN114675502A 申請公布日 2022-06-28
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 馬修泉;劉旭奇;吳寒;陸培祥 申請（專利權(quán)）人 廣東省智能機(jī)器人研究院
代理機(jī)構(gòu) 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 523808廣東省東莞市松山湖園區(qū)學(xué)府路1號5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種極紫外光產(chǎn)生方法及系統(tǒng)，包括：光纖激光光源裝置根據(jù)激光參數(shù)產(chǎn)生激光脈沖；液滴靶生成裝置在真空環(huán)境中根據(jù)液滴靶參數(shù)生成兩路以上交替噴出的液滴靶流，在預(yù)設(shè)打靶位置形成重復(fù)頻率與激光脈沖的重復(fù)頻率匹配的液滴靶；激光脈沖在預(yù)設(shè)打靶位置轟擊對應(yīng)的液滴靶，產(chǎn)生極紫外光。通過采用能產(chǎn)生高重復(fù)頻率激光脈沖滿足系統(tǒng)要求的光纖激光光源裝置，并搭配液滴靶生成裝置生成多路交替噴出的液滴靶流，在預(yù)設(shè)打靶位置形成重復(fù)頻率與所述激光脈沖的重復(fù)頻率匹配的液滴靶，實(shí)現(xiàn)多路液滴靶流的液滴靶都能在預(yù)設(shè)打靶位置完全被激光脈沖轟擊得到極紫外光，以較高的轟擊頻率達(dá)到提升極紫外光轉(zhuǎn)換效率的目的。